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鍍膜工藝設計

作者(zhě): 來源: 日期(qī):2020-11-23 11:28:29 人氣:12475

鍍膜工藝(yì)之設計應著重考慮不同薄膜材料之(zhī)間需要不同的沉積工藝,

不同濺射技術的實施(直(zhí)流、中頻(pín)、射頻、脈(mò)衝、反應濺射,以及它(tā)們(men)之間的結合而發展的技術,或者(zhě)新技術的應用等),

同種技術不同工藝參(cān)數的(de)調整(功率,氣壓,沉積方式等),前(qián)處理(清洗、預熱等),後處理(熱處理等)。

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