磁(cí)控濺射鍍膜是(shì)現代工業中(zhōng)不可缺少的技術之一,磁控(kòng)濺射鍍膜技術正廣泛應用於透明(míng)導電膜、光學膜、超硬膜(mó)、
抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以(yǐ)及各種裝飾膜,在國(guó)防和國(guó)民經(jīng)濟生產中的作用和地(dì)位日益強大。
磁控濺射技術發展過程中各(gè)項技術的突破(pò)一(yī)般集(jí)中在等離(lí)子體的產生(shēng)以及對等離子(zǐ)體進行的控製等方麵(miàn)。
通過對電磁場、溫度場和空(kōng)間不同(tóng)種類粒子分布參數的控製,使膜層質量(liàng)和屬性滿足各行(háng)業的要求。
膜厚均(jun1)勻性與磁控濺射靶的工作狀態息息(xī)相關(guān),如(rú)靶的刻蝕狀態,靶的電磁場設計等,
因此,為保證膜厚均勻性(xìng),國外的薄膜製備公司或鍍膜設備製造公司都(dōu)有各自的關於鍍膜設備(包括核心部件“靶”)的(de)整套設計(jì)方案。