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磁(cí)控濺射(shè)膜厚均勻性設計方法

作者: 來源: 日期:2020-11-09 10:56:38 人(rén)氣:22072

磁(cí)控濺射鍍膜是(shì)現代工業中(zhōng)不可缺少的技術之一,磁控(kòng)濺射鍍膜技術正廣泛應用於透明(míng)導電膜、光學膜、超硬膜(mó)、

抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以(yǐ)及各種裝飾膜,在國(guó)防和國(guó)民經(jīng)濟生產中的作用和地(dì)位日益強大。


鍍膜工藝(yì)中的薄膜厚度均勻性,沉積速率,靶(bǎ)材利用率等方(fāng)麵的(de)問題是實際生產(chǎn)中十分關注的。
解決這些實際問題的方法是對涉及濺射沉積過程(chéng)的全部因素進行整體的優化設(shè)計,建(jiàn)立一個濺射鍍膜的綜合設計係統。
薄膜厚度均勻性是檢驗濺射沉積過程的最重要參數之一,因此對(duì)膜厚均勻性綜合設計的研究具有重要的理論和應用價值。

磁控濺射技術發展過程中各(gè)項技術的突破(pò)一(yī)般集(jí)中在等離(lí)子體的產生(shēng)以及對等離子(zǐ)體進行的控製等方麵(miàn)。

通過對電磁場、溫度場和空(kōng)間不同(tóng)種類粒子分布參數的控製,使膜層質量(liàng)和屬性滿足各行(háng)業的要求。


膜厚均(jun1)勻性與磁控濺射靶的工作狀態息息(xī)相關(guān),如(rú)靶的刻蝕狀態,靶的電磁場設計等,

因此,為保證膜厚均勻性(xìng),國外的薄膜製備公司或鍍膜設備製造公司都(dōu)有各自的關於鍍膜設備(包括核心部件“靶”)的(de)整套設計(jì)方案。

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