微信（xìn）掃一掃 關注91香蕉视频污版下载最新動（dòng）態！等離子（plasma）是（shì）除固體、液體、氣體之外的（de）第四種物質狀態，主（zhǔ）要是由氣體在高電磁場作用下發生解離，形成一種（zhǒng）包括電子（帶負電），正離子（帶正電），自由基（jī）和中（zhōng）性氣體分子組成的高活性物質，通產情況下會發光。
一般情（qíng）況下，等離子中的正電荷數等於負電荷數，所以整體（tǐ）呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活中見到的閃電、日光燈、霓虹燈（dēng）就是等離（lí）子體發光（guāng）現象。
等離子的產生有很多種方法，但生成和維持都（dōu）需要外部能量的輸入。
電子從外加電磁場獲得能量，然後發生非彈（dàn）性碰撞產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生（shēng）二次電子（zǐ）、原子、分子、離子等物質，然而在解離碰撞中，電子可能與氣體離子有再結合作（zuò）用（yòng），或者因為漂移及（jí）擴散而離開電磁場（chǎng）範圍等原因消失，因此當電子產生與消失的速率相等時，此（cǐ）時的plasma即為（wéi）穩定狀態。這裏列舉四種ETCH常用（yòng）產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三（sān）、等離子體的參（cān）數 plasma parameters
平均（jun1）自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子碰撞前能夠移動的平均距離。MFP與環（huán）境壓力P呈反比，壓力越高，MFP越（yuè）短，壓力約低，MFP越長，這就是為什麽plasma產（chǎn）生要（yào）在低壓近似真空環境下產生，因為在大氣壓力下（760Torr），電子的MFP很短，很難（nán）獲得足夠（gòu）的能力來使用氣體離子化。