物（wù）理蒸鍍就是把物質加熱揮發，然後將其蒸氣沉積在預定的基材上。由（yóu）於蒸發源須加熱揮發，又（yòu）是（shì）在真空中進行，故亦稱為熱蒸鍍或真空（kōng）蒸鍍。

其可（kě）分（fèn）為三個步驟: 

(1)凝態的物質被加熱（rè）揮發成汽相（xiàng）  
(2)蒸汽在具空中移動一段距離至基材 
(3)蒸汽在基材上冷卻凝（níng）結成薄膜