通俗的定義為在正常狀況下，其（qí）應用功（gōng）能不會失效。

想要達到這個目的，一般而言這（zhè）層薄膜必須具有堅牢的附著力、很低的（de）內應力、針孔密度很少、夠強的（de）機械性能、均勻（yún）的膜厚、以及足夠的抗化學侵蝕性。

薄膜的特性主要受到沉積過程、成膜條件、接口層的形成和基材的影（yǐng）響，隨後的熱處理亦扮演重要角（jiǎo）色。 

沉（chén）積的薄膜有內應力的（de）存在，其來源為（wéi）何? 

薄膜和（hé）基材之間的晶格失配 

薄膜和基材（cái）之間的熱膨脹係數差異 

晶（jīng）界之間的互擠