真空鍍膜機是目前製作（zuò）真空條件應用（yòng）最為廣（guǎng）泛的真（zhēn）空設備，一（yī）般用真空（kōng）室、真空機組、電氣控製櫃三大（dà）工作原理。

真空主題--真空腔根據（jù）加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體（tǐ）由不鏽鋼材料製作（zuò），要（yào）求不生鏽、堅實等，真空腔各部分有鏈接閥，用來鏈接各抽（chōu）氣泵浦。

輔助抽（chōu）氣係統：排氣係統為（wéi）鍍膜機真空係（xì）統的重（chóng）要（yào）部分，主要有由（yóu）機械泵、增壓泵（主要介紹羅（luó）茨泵）、油（yóu）擴散泵三（sān）大部分組成，此排（pái）氣係統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態（tài），為擴散泵後續抽真空提供前提，之後當擴散泵抽真空的時候，機械泵又配合油擴散泵組（zǔ）成串聯，已這樣的方式完成（chéng）抽（chōu）氣動作。

 機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最廣泛的（de）一種低（dī）真空泵，它（tā）是用油（yóu）來保持（chí）密封效果並依靠機（jī）械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而（ér）獲得（dé）真空。