隨著科技的發展，真空鍍膜工藝技術已經在：太陽能（néng）集熱管（guǎn）、太（tài）陽能電池、磁帶、光盤、半導體器件、光學器件、光電顯示（shì）器（qì）件、玻璃、工模具和切削（xuē）刀具（jù）的超硬塗層、汽輪機葉片的（de）抗熱塗層、五金製品、手表（biǎo）、手機和眼鏡的裝飾、塑料製品（pǐn）金（jīn）屬化、包裝用塑料薄膜等多個領域廣泛應用。

真空鍍膜設（shè）備有多種規格的單室機和多室連續機。工藝方法上可分（fèn）為：真空蒸鍍、離子鍍、濺射鍍、束（shù）流沉積鍍以（yǐ）及分子束外延等（děng）。真空鍍膜設備的運行性能直接影響生產工藝、產品質量和生產，為了使（shǐ）設備的運行性能正常，必須建（jiàn）立和完善設備的；維護與維修製度、維護內容、維修標準等。

一、維護與維修製度，為了使真空鍍膜設備在維護、維修及生產過程中出現問題能（néng）得到及時（shí）收集、傳遞（dì）、分析和處理. 而製（zhì）定的管理製度。

1.有完善的製度,如設備的使用操作規程。維修人員在維（wéi）修時應掛放“正在維修”牌，並切斷電源以防他人使（shǐ）用機器設備等.

2.在工廠（chǎng）生產管理中,設備的維護與（yǔ）維修是重要的一（yī）方麵。應該有專（zhuān）職的、能力強的維修（xiū）人員負責。

二、設備的維護，維護可分為：日常維護和定期維護。

1.日常維護（hù）就是（shì）在當天生產中發（fā）現設（shè）備有不良（liáng）跡象，就馬上解決。發現機械泵的油少了就要添加，不要認為這油是定期更換的，等到了時間（jiān）在（zài）維護（hù），可能泵（bèng）的（de）轉子就會磨損嚴重了。再（zài）比如工（gōng）件轉架的軸承有（yǒu）些（xiē）卡，就要更換軸承，而等到它（tā）徹底的壞了再換，問題可（kě）就大了，可能引起轉架電機燒毀等。

2.定期維護，有人會問有了日常維護還有必要定（dìng）期維護嗎？其實每一種設（shè）備都有自己使用（yòng）壽命（mìng），比如擴散泵用的矽（guī）油使用壽命為2年左（zuǒ）右，我就規定1年半就把（bǎ）它（tā）換掉，這樣（yàng）做是不是浪費，我覺的不浪費，從設備服務於生產（chǎn）來說是（shì）值得的，老板（bǎn）最不希望看到的是機器在生產階段出現問（wèn）題。隻要你把日常（cháng）維護和定期維（wéi）護做好了（le），在延長設備壽命的同時，生產過程中出現故障的幾率也（yě）大大降低，生產效率也提（tí）高了。

三、設備維修：說到維修很多人都頭疼的（de）是真空部分的漏氣，真空部分出（chū）了問題比（bǐ）較麻煩，再加上很多公司沒有檢漏儀，這就要分階段來找。真空抽不上去原因可能有以下幾點：

1.也許是漏率偏高就是我們常說的有漏氣；

2.也許是真空機組的抽（chōu）氣能力（lì）不夠（gòu）了，油被汙染或氧化了；

3.也許是真空室內太髒放氣。

或者是這幾種可能都有。出現問題，首先是要判斷，是不是拆裝過（guò）東西（xī）？會不會（huì）漏水？閥（fá）門打開了嗎？根據現象判斷原因，然後再去根（gēn）據判斷找問（wèn）題，可能會收到事半（bàn）功倍的效果。有次我們清洗弧（hú）蒸發源，清洗完裝上一試抽真空（kōng）比以前慢了（le），就懷（huái）疑是弧蒸發源漏氣，後來經（jīng）過檢查是弧（hú）蒸發源（yuán）的一個密封圈本來是要更換的，在裝配時認為還可以就沒有更換，結果就造成了漏氣。