排氣係統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空係(xì)統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅(luó)茨泵)、油擴散泵三大部分組成。今天(tiān)
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機械泵(bèng)是(shì)應用最廣泛的(de)一(yī)種低真空泵,它是用油來保持密封效果並(bìng)依靠機械的方法不斷(duàn)的(de)改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體(tǐ)的體積不斷膨脹從而獲得真空。 機(jī)械(xiè)泵有(yǒu)很多種,常用的有滑閥式(此主要(yào)應用於大型設備)、活塞往複(fù)式、定片式和(hé)旋片式四種類型。 機械泵常常被用來抽除幹燥(zào)的空氣,但不(bú)能抽除含氧量過高(gāo)、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般(bān)被(bèi)用來抽除(chú)永久性的氣體,但是對水氣(qì)沒(méi)有好的效果(guǒ),所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主(zhǔ)要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與定(dìng)子(zǐ)不同心軸,象兩個內切圓,轉子(zǐ)槽內裝有兩片彈片,兩(liǎng)彈片中間裝(zhuāng)有彈簧,保證了(le)彈片(piàn)緊緊貼在定子的內壁。
它的兩個彈片交替起著兩(liǎng)方麵的(de)作用(yòng),一方麵從進氣口吸進氣體,另一方麵壓(yā)縮已經吸進的氣體(tǐ),將氣體排出泵外。轉子每旋轉一周,泵完成兩次吸氣和兩次排氣。當泵連續順時針轉動時,旋(xuán)片泵不斷的通(tōng)過進氣口吸入氣體,又從排氣口不(bú)斷的排出泵外,實現對容器抽氣的目(mù)的。為了提高泵的極限真空度(dù),均(jun1)將泵的定子浸在油裏麵這樣,在各處的間隙中及有害空(kōng)間裏麵經常保持足夠(gòu)的油,把空隙填滿,所以油一方麵起到了潤滑作用,另一(yī)方麵又起了密封和堵塞縫隙及(jí)有害(hài)空間的作用,防止氣體分子通過各種渠道(dào)反流到壓強低的空間去。
機械泵是從大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽(chōu)氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從大氣(qì)抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械(xiè)泵可以將容器從大(dà)氣(qì)抽(chōu)到6.7*10-2帕(pà),甚至更高(gāo)。
抽氣速率,是(shì)指旋片泵按額定轉數運轉(zhuǎn)時,單位(wèi)時間內所能排出氣(qì)體的體(tǐ)積,可以用下公式計算:
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸氣結束時空腔截麵(miàn)積,L表示空腔長度(dù),係(xì)數表示轉子(zǐ)每旋轉一(yī)周有兩次排(pái)氣(qì)過程(chéng),Vs表示(shì)當轉子處於水平位置的時候(hòu),吸氣結束,此時空腔(qiāng)內的體積最大,轉速為(wéi)n。
機械泵排氣的效果還與電機的(de)轉速(sù)及皮(pí)帶的鬆緊度有關係,當電機的皮帶比較鬆,電機轉速很慢的時候,機械泵(bèng)的排氣效果也會變差,所以要經常保養,點檢,機械(xiè)泵油的密(mì)封(fēng)效果也需要常常點檢,油過少,達不到(dào)密封效果(guǒ),泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔(kǒng)堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米(mǐ)即可。