油擴（kuò）散泵的（de）應用壓強範圍（wéi）是10-1帕（pà）-10-7帕，它是利用氣體的擴散現象來排氣的，它具有結構簡單（dān），操作方便，抽速大（最高可以達到（dào）10+5升（shēng）/秒）等（děng）特點（diǎn）。油擴（kuò）散（sàn）泵主要由泵（bèng）殼、噴嘴、導流管和加熱器（qì）組成，裏麵（miàn）主要添加擴（kuò）散泵油（日本的型號（hào）是D-704#），根據噴嘴（zuǐ）的多少可以分（fèn）為單級泵和多（duō）級泵（bèng）。
擴散泵底部內（nèi）儲存有擴散泵油，上部為進（jìn）氣口，右側旁下部為出氣口，在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強，機械（xiè）泵充當前置泵。
當擴散泵的油被電爐（lú）加熱時，產生的油蒸汽提供前置壓強，機（jī）械泵充當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導流（liú）管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴（zuǐ）外麵有機械泵提供（gòng）的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構成一個向出氣口方（fāng）向運動的射流。射流最後碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝（níng）結（jié）為液體（tǐ），流回蒸發器，即靠油的蒸發——噴（pēn）射——凝結，重複循環來實現抽氣的。
由（yóu）進氣口進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中（zhōng），便獲得向下運動的（de）動量，向下飛（fēi）去，由於射流具有高的流速（約200米/秒），高的蒸汽密度，且擴散泵油（yóu）具有高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子，因此在射流的界麵內，氣體分子不（bú）可能長期滯留，且在射流界麵的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差（chà），正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷（duàn）的越過界麵，擴散進入（rù）射流中，被（bèi）帶往出（chū）口處，在出口處再由（yóu）機械（xiè）泵抽走（zǒu）。
擴散泵的油蒸（zhēng）汽壓是決（jué）定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽（qì）壓（yā）低的泵油，其（qí）化學（xué）特性要好（hǎo）。
擴散泵不能單獨用來抽氣，一般要求泵的最大出口壓強為40帕。擴散泵的抽速（sù）決定於第一級噴嘴與（yǔ）泵體進氣口口徑間環形（xíng）麵（miàn）積的大小，抽速不是一恒定的值，而是隨著進氣口的壓強而變化的（de），當壓強在10-2～10-3帕的時候，擴散泵的（de）抽（chōu）氣速度是最快的，當壓強小於5*10-4帕之後，擴散（sàn）泵的抽氣速度最小，幾乎沒有抽氣能力（此時，進氣口的壓（yā）強較高（gāo），由於空氣的密度較（jiào）大，使蒸汽流（liú）形成不了高速射流以阻擋空氣的反擴散，所以抽速下降（jiàng））。
擴散泵在安裝前（qián）要清洗，之後（hòu）才可以（yǐ）裝入擴散油，油在加熱前，必須要先對泵（bèng）抽真空，停機前要先將擴散（sàn）泵油冷（lěng）卻到（dào）60～70攝（shè）氏度，才（cái）可以關閉前級（jí）抽氣，最後關冷卻（què）水。
由於油擴散（sàn）泵是無法杜絕（jué）有返油的幾率，那麽沒有（yǒu）辦法保（bǎo）證精密產品的100％純淨（jìng），特別是半導體行（háng）業，所以就有“高真空冷凝（níng）泵＋低（dī）真空機械泵（bèng）”所組成的無油真空係統，冷凝泵組成的（de）排氣係統不僅（jǐn）排氣效率極高，而且有效保證（zhèng）真空腔的清潔，保證產品的質量（避免產品被汙（wū）染、增強膜層與基板之間的附著力），但是其維護成本（běn）非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴散泵廣泛。
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