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真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍

作者: 來源(yuán): 日期:2020-12-25 13:17:41 人氣:2893

真空蒸(zhēng)鍍、濺鍍、離子鍍 

真空鍍主要包括真空蒸(zhēng)鍍、濺射鍍和離子鍍幾種類型,它們都(dōu)是采用在真空(kōng)條件下,通過蒸餾或濺(jiàn)射等方式在塑件表麵沉積各種金屬和非金屬薄膜,通(tōng)過這樣的方式可以得到非常薄的表麵鍍層,同時具有速度快附著力好的突出優點,但是(shì)價格也較高,可以進行(háng)操作的金屬類型較少,一般用來作較(jiào)高檔產品的功能性鍍層


真空蒸鍍法是在(zài)高真空下為金屬(shǔ)加熱,使其熔(róng)融、蒸發,冷卻後在樣品表麵形成金屬薄膜的方法,鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形品表麵的微小凹凸部(bù)分填平,以獲得如鏡麵一樣的表(biǎo)麵,無任是為了得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是對密接性較低的奪鋼進行真空蒸鍍(dù)時,都必須(xū)進行底麵塗布處理。


濺鍍通常指的是磁控濺鍍,屬於高速低溫濺鍍法。該工藝要求真空(kōng)度在1×10-3Torr左右,即(jí)1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣體氬氣(Ar),並在塑膠基(jī)材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由於輝光放電(diàn)(glow discharge)產生的電子(zǐ)激發惰性氣體,產生(shēng)等離子體,等離子體將(jiāng)金屬(shǔ)靶材(cái)的原子轟出,沉積(jī)在塑膠基材上。一般金屬(shǔ)鍍膜大都采用直(zhí)流(liú)濺(jiàn)鍍,而不導電的陶磁(cí)材料則使用RF交(jiāo)流濺鍍。


離子(zǐ)鍍是(shì)在真空條件下,利用氣體放電使氣體或被蒸(zhēng)發物質部分電離(lí),並在氣體離子或被蒸發物質離子的轟擊下,將蒸發物(wù)質(zhì)或其反應物沉積在基片上的方法。其中包括磁控濺射離子鍍、反應離子鍍、空心陰極放電離子鍍(空心陰(yīn)極蒸鍍(dù)法(fǎ))、多弧離子鍍(陰極(jí)電弧(hú)離子鍍)等

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