質量流量（liàng）計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣（qì）體流量的（de）儀表，

其測量值不因溫度或壓力的波（bō）動而失準，不需要溫度壓力補（bǔ）償。

質量（liàng）流量控製器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質量流量計的功（gōng）能，

更重要的是，它能自動控製氣體流量，即用戶可根據需要進行流量（liàng）設定，MFC自（zì）動地將流量恒定在設定值上，

即使係統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會（huì）使其偏離設定值。

簡單地說，質量流（liú）量控製器就是（shì）一（yī）個穩定裝置，是一個可以手動設定或與計（jì）算機聯接自動控製的氣體穩流裝置。