低(dī)真空的(de)獲得
獲得低真空常(cháng)采用機械泵,機械泵是運用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹,從而獲得真空的裝置。
它可(kě)以直接在(zài)大氣壓下開(kāi)始工(gōng)作(zuò),極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速及空腔(qiāng)體積V的大(dà)小有關,一般在(zài)每秒幾升到每秒幾(jǐ)十升之間。
高真空的獲得
目前,廣泛使用的獲得(dé)高真空的泵就是擴散泵(bèng)。擴散(sàn)泵是利用氣(qì)體擴散現象來抽(chōu)氣的,它不能直接在(zài)大氣壓(yā)下工作,而需要一定(dìng)的預備真空度(1.33-0.133Pa)。
油擴散泵的極限真空度主要取決(jué)於油(yóu)蒸汽壓和氣體分子的反擴散,一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速(sù)率(lǜ)與結(jié)構相關,每秒幾升--幾百升不等。