微信掃一掃 關注浦（pǔ）元最新動態！1. 電阻蒸發源蒸鍍發
A. 加（jiā）熱：高熔點金屬做成適當形狀蒸發源，電流通過直接加熱。
B. 優點：結構簡（jiǎn）單、造價便宜、使用可（kě）靠（kào）
C. 缺點：所能到到的最高溫度有限，加熱器壽命較（jiào）短（duǎn）
D. 適合：熔點（diǎn）不太高，尤其對膜層質量要（yào）求不大高的大批量生產。
2. 電子束蒸發源蒸鍍發
A. 蒸發材料放入冷水鉗鍋中，利用電子束加熱
B. 優點：獲得更大能量密度，使高熔點材料蒸發且速度快，膜的純度較高，熱效率高。
C. 分類：環形槍，直槍，e型槍和空心陰極槍（qiāng）等幾種。
D. 適合：高熔點（diǎn），純度要求高的（de）材料。