分析現有光(guāng)學(xué)真空鍍(dù)膜機比較片機構在使用過程(chéng)中存在的問題(tí)。根據現代光學真(zhēn)空鍍膜機的發展趨勢和實際生產(chǎn)中急需解決的問題,通過多(duō)方麵的研究分析,優化設計新一代的鍍膜機比較片結構,解決影響光學薄膜質量和超多層精密光學薄膜鍍製的問題,以提高薄膜的監控精度,實現係統的自動控製,提高光學真空(kōng)鍍膜機生產效率,降低生產成本。使現代光學真空鍍膜機的結構配置及使用效果達到最佳。
從上世紀八十(shí)年代以來,全球光電科學技術發展與進步迅猛,我國研發光學真(zhēn)空鍍膜(mó)機設備,在引進消化吸收的基礎上,也迅速發展起來。最近二十(shí)多年,我國逐漸成為全球光學產品的加工基地,作為光學產品的關(guān)鍵工序,也是最後一道(dào)工序-- 鍍膜,要求越來(lái)越高,真空鍍膜機性能和配置也必然要得到加強,提高設備質量、完善設備性能、提高生產效率等問(wèn)題就顯現出來,這就涉及到此類(lèi)設備(bèi)的改造(zào)、設計研發,要求相關技術人員(yuán)去解決。
真空鍍膜機比(bǐ)較片(piàn)機構就是該類設備的必不可少的關鍵部件,高端配(pèi)置的設備對比(bǐ)較片機構要求越來越高,它對鍍製多膜層的檢測和(hé)生產效率有著重要的不可替代的作用。
現有真空鍍膜機比較片機構 國內低端的真空鍍膜機,從發展(zhǎn)之初到近10年左右,大多還沿用的該比較片結構,如圖1 所示。此比(bǐ)較片換位機構,通常由6 個獨(dú)立的直徑Φ22mm 的比較片組成。該機構主(zhǔ)要由(yóu)1 個托盤16、三個支(zhī)撐杆110 及1 個比較片盤18 組成,三個支撐杆110 對托盤16起固定、支撐的作用,比較片盤18 靠齒輪齧合把運動輸入使之旋轉撥片,三者配合就(jiù)完成撥片換位動作。由於一般的鍍(dù)膜機真空室直徑尺寸都不(bú)大,整個機構的直徑(Φ124mm)相(xiàng)比較就(jiù)有些偏大,導致工件盤(pán)上可裝載的鍍製工件麵積比較小,並且該機構隻可放置6 個比較片13,直接影響生(shēng)產(chǎn)效率。
該結(jié)構的特點是:結構(gòu)簡單,加工製造方便,安裝(zhuāng)實施方便易行。缺(quē)點:該結構直徑麵積比較大,影響裝載工件的數量;比價(jià)片(piàn)放置數量少,降低了生產效(xiào)率;強度和剛度(dù)有限(xiàn),又由於該結構完全暴露在真空室內,真空室內高溫濺射磨料的影響,使轉動平穩性、靈活性一般(bān),傳動位置重複的一致性誤差較大,清洗維護頻繁。
根據(jù)現有比較片結構在使用過程中暴露出(chū)的(de)問題,對原有通用鍍膜機比較片結構進行多次的改進,通(tōng)過設計可重疊放(fàng)置比較片存儲筒,使比較片機構直徑所占麵積減小,但放置的比較片(piàn)數量增加到20 片左右, 整個機構直徑縮小為Φ89mm。結果可增加較小工件鍍膜盤上(shàng)裝載工件的數量(liàng),提高生產效率,還可以提高薄膜監控的(de)精度,並降低(dī)對硬件係統的要求,容易實現對係統的自動控製。
具體(tǐ)動(dòng)作實(shí)施,改進後多片比較(jiào)片機構的轉動,通過(guò)連(lián)接板(bǎn)23 和連接塊21 固定在(zài)真空(kōng)室頂板上,比較片機構的旋轉運動,由旋轉密封軸把運動(dòng)輸入真空室內的(de)大齒輪,帶(dài)動小齒輪所在(zài)傳動軸24 的轉動,最終(zhōng)實現整個比較片機(jī)構的轉動。比較片切換比較片時,通過撥盤29 轉動一個工位,比較片存儲筒219 內落下一個比較片,到(dào)達預設的位(wèi)置,同時,切換的比較片隨著工位轉動落在(zài)比較片接受筒212 內,每切換一(yī)次,撥動一個工(gōng)位(wèi)。其中,傳動軸24、大齒(chǐ)輪、小齒輪和軸(zhóu)承座組成的傳動機構來完成撥盤轉動。
其特(tè)點是:(1)減小比較片機構直徑的麵積,提高裝載鍍製工(gōng)件的(de)數(shù)量;(2) 增加比較(jiào)片(piàn)的數量,提高生產效率,提高(gāo)薄膜監控的精度,降(jiàng)低對硬(yìng)件係統的要求,係統容易實現自動控(kòng)製。缺點:該比(bǐ)較片(piàn)結構直(zhí)徑小(xiǎo)而長(Φ89×370),影響(xiǎng)其使用的強度和剛度;由於該結構暴露在(zài)高溫濺射磨料的真空室內,影響其轉動平穩性(xìng)、靈活性,且轉動位置重複的一(yī)致性(xìng)較差,維(wéi)護清洗頻繁費(fèi)工。
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