真空鍍膜(mó)機精(jīng)抽太慢的幾個原因
作者: 來源(yuán): 日期:2017-05-12 16:38:58 人氣:40317
真空鍍膜機精抽太慢主要從以下幾個方麵進行(háng)原因查找:
一、擴散泵(bèng)可能不太給力。
解決辦法:可以用電離規單(dān)接到擴散泵泵(bèng)口,看擴散泵單抽能達到多少,要看抽(chōu)的時(shí)間和極限,然後(hòu)進行對比。
二、真空係(xì)統有微漏。
解決辦法:這(zhè)就需要慢慢檢漏,看看保真空時間能不能達不達標。
三、箱體太髒,太髒放氣量就大了。
解決辦法:清洗箱(xiāng)體
四、前級真空度不行,機械泵或(huò)機械泵加羅(luó)茨泵的極限真空不行。
解決辦法:可以用電阻規單獨檢測前級管道。