如何掌控真空鍍膜的均勻(yún)性
作者: 來源(yuán): 日(rì)期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2716
如何(hé)掌控真空鍍膜的均勻性(xìng)
我們先來認識(shí)下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試鍍膜機是使用鍍(dù)膜機的關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情況(kuàng)與各真空泵的性能;
2、測試設備的密封性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達標,同時排(pái)除細小(xiǎo)的漏孔;
3、產(chǎn)品試作,檢驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的話就繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應作記錄,並有記錄人簽字以及有使用部門或工程(chéng)部門的人確認簽字
怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原理(lǐ)的不同分為很多種類,僅(jǐn)僅因為都需要高真空度(dù)而擁有統一名(míng)稱。所以對於不同原理的真空鍍(dù)膜,影響均勻性的因素也不盡相同。並且均勻(yún)性這個概念本身也會隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義,下麵分別說(shuō)一下(xià):
均勻(yún)性主要體現在3方麵:
1、厚度(dù)上的(de)均勻性,也可(kě)以理解(jiě)為粗糙度,在光學薄(báo)膜(mó)的尺度上看(也就是(shì)1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜(mó)的均勻性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度控製在可見(jiàn)光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子鍍膜機的光學特(tè)性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指(zhǐ)原子層尺度上的(de)均勻度,也(yě)就是說要實現10A甚至1A的表麵(miàn)平(píng)整,是現在真空鍍膜中主要的技術含量與技(jì)術瓶(píng)頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由(yóu)於尺度過小而(ér)很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機過程(chéng)不科學,那麽實(shí)際表麵的(de)組分並不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜(mó)並(bìng)非是想要(yào)的膜的(de)化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的(de)技術含量所(suǒ)在。
3、晶格有(yǒu)序度的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多(duō)晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱點問題。
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