CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83708

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂(wèi)“濺射”就是用荷能(néng)粒子(通常用氣體正離子)轟擊(jī)物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出的現象(xiàng)。早在1842年Grove在實驗(yàn)室中就發現了這種(zhǒng)現象。磁控濺射靶采用(yòng)靜止電磁場,磁場為曲線(xiàn)形,均勻(yún)電場和對數電(diàn)場則分(fèn)別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用(yòng)下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電(diàn)子具有足夠的(de)能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電(diàn)子飛向(xiàng)基片,Ar+在(zài)電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高(gāo)能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣泛應用於家電電器(qì)、鍾(zhōng)表、高(gāo)爾夫球頭、工藝美術(shù)品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表(biǎo)、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工(gōng)模具的功(gōng)能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和(hé)重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的(de)薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力(lì)強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現(xiàn)象,在基片上形成一層濺射原子(zǐ)與基片原子相互溶合的偽擴散層(céng);
3)、製備特(tè)殊材料的薄(báo)膜,可以使用(yòng)不同(tóng)的材料(liào)同時濺射製備(bèi)混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺射(shè)膜層(céng)中不會混入(rù)坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備(bèi)低溫離子輔助源(yuán),無(wú)需加熱直接常溫冷鍍成(chéng)膜,節能省(shěng)電,提高產能。

技術參數表

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī)     
型號(hào)CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT400擴散泵機組KT500擴(kuò)散泵機組KT800擴(kuò)散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統直流或中(zhōng)頻電源、鍍膜輔(fǔ)助離子專用電源
充氣係統質(zhì)量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計
控製方式手動或全自動手動(dòng)或全自動手動或全自(zì)動手動或全自動手動或(huò)全自動手動或全自動手動或(huò)全自(zì)動
極(jí)限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參(cān)數僅做(zuò)參考(kǎo),具體均按(àn)客(kè)戶實際工藝要求(qiú)設計訂做
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