CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83709
CJ係列磁控濺射真空鍍(dù)膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷(hé)能(néng)粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原(yuán)子從母體中逸出的(de)現象。早在1842年Grove在實(shí)驗室中就(jiù)發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜(jìng)止電(diàn)磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電(diàn)場作(zuò)用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電(diàn)子具有足夠的能量(liàng)(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於(yú)家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩(wán)具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金(jīn)裝飾膜、導電膜等領(lǐng)域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍(dù)製預定厚度的薄膜,並且濺(jiàn)射鍍膜可以在(zài)較大的表麵(miàn)上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的(de)附著力強。部分高(gāo)能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象(xiàng),在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶(róng)合的偽擴散層;
3)、製(zhì)備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料(liào)同時(shí)濺射製備混合膜、化合膜,還可(kě)濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低(dī)溫離子輔助源,無需加(jiā)熱直接(jiē)常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列(liè)磁控濺射真空鍍(dù)膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機(jī)組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機(jī)組 |
鍍膜係統 | 直流或中頻電源(yuán)、鍍膜輔助離子專用電源 |
充(chōng)氣係(xì)統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流(liú)量(liàng)計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備(bèi)參(cān)數僅做參考,具體均(jun1)按(àn)客戶實(shí)際工藝要求(qiú)設計訂做 |